台積電擴大節能改裝外氣空調 年底再省1100萬度電
完整圖文請見 2022-05-31 經濟日報
台積電（2330）今（31）日更新ESG電子報，其中提及台積電致力擴大節能成效，預計至民國111年年底既有廠區累計完成316台外氣空調箱改裝，增加節電1,100萬度，新建廠區則持續進行新機導入行動，實踐綠色製造承諾，朝永續共好目標邁進。
台積電也指出，公司致力精進能源使用效率，繼改造測試機台節省壓縮乾燥空氣（CDA）用量同步達到省電效果後，進一步針對無塵室中的外氣空調箱（Makeup Air Handling Unit, MAU）洗滌加濕系統改裝創新的濕膜板設計，截至民國111年5月，共完成既有廠區266台外氣空調箱濕模板改裝，同時列為新建廠標準設計，並導入413台新設外氣空調箱，總計節電1億4,900萬度，持續以具體行動落實綠色製造。
傳統外氣空調箱噴霧加濕系統以水做為質量傳遞的媒介，水泵將水加壓霧化、再由噴嘴將水細化成特定直徑水顆粒，進氣與水顆粒經過慣性撞擊、質傳、溶解等作用而去除空氣中微汙染物，以維持無塵室的進氣品質。因介質板噴霧加濕系統受限於空調箱尺寸，無法增加霧化水顆粒與空氣接觸時間，洗滌水泵用電量占無塵室空調氣水輸送用電量20%...
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https://udn.com/news/story/7240/6353611